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PLCVD技术深度解析摘要:PLCVD(等离子体化学气相沉积)技术是一种工业创新,它通过利用等离子体激活气体分子,在基材表面沉积形成薄膜。该技术具有高效、环保、可精确控制薄膜成分和结构等优点,被广泛应用于半导体、光学...